一、設(shè)計(jì)階段

 

　　功能分區(qū)

 

　　根據(jù)研發(fā)流程劃分區(qū)域，如潔凈區(qū)（光刻、刻蝕等）、檢測區(qū)、辦公區(qū)、設(shè)備區(qū)等。

 

　　明確人流、物流、氣流的走向，避免交叉污染。

 

　　潔凈等級(jí)

 

　　核心工藝區(qū)（如光刻區(qū)）潔凈等級(jí)通常為ISO4（Class10）或更高。

 

　　其他區(qū)域根據(jù)需求設(shè)定相應(yīng)潔凈等級(jí)（如ISO5、ISO6）。

 

　　靈活性設(shè)計(jì)

 

　　采用模塊化設(shè)計(jì)，便于未來設(shè)備升級(jí)或布局調(diào)整。

　　二、材料選擇

 

　　墻面與天花板

 

　　使用無縫隙、易清潔、耐腐蝕材料（如彩鋼板、不銹鋼板）。

 

　　接縫處密封處理，避免積塵。

 

　　地面

 

　　使用防靜電、耐磨、易清潔材料（如防靜電環(huán)氧地坪、PVC地板）。

 

　　地面設(shè)計(jì)排水坡度，防止積水。

 

　　門窗

 

　　采用氣密性好的鋁合金或不銹鋼材質(zhì)，門需安裝自動(dòng)閉門器。

 

　　三、空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)

 

　　高效過濾

 

　　安裝高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA），確?？諝鉂崈舳?。

 

　　定期更換初效、中效過濾器。

 

　　溫濕度控制

 

　　根據(jù)工藝要求配置恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)（如溫度22±1℃，濕度45±5%）。

 

　　實(shí)時(shí)監(jiān)測和調(diào)節(jié)溫濕度。

 

　　氣流組織

 

　　采用單向流設(shè)計(jì)（如垂直層流），確保氣流方向從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)。

 

　　潔凈區(qū)保持正壓，防止外部污染進(jìn)入。

 

　　新風(fēng)與排風(fēng)

 

　　確保足夠的新風(fēng)量，維持正壓。

 

　　配置獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，處理有害氣體或化學(xué)品。

 

　　四、照明系統(tǒng)

 

　　無塵燈具

 

　　使用潔凈室專用燈具，避免積塵。

 

　　照度要求

 

　　核心工藝區(qū)照度需≥500lux，其他區(qū)域≥300lux。

 

　　五、設(shè)備與設(shè)施

 

　　研發(fā)設(shè)備

 

　　設(shè)備表面光滑、無死角，材質(zhì)耐腐蝕（如不銹鋼）。

 

　　設(shè)備布局便于操作、維護(hù)和清潔。

 

　　潔凈室家具

 

　　工作臺(tái)、貨架等采用不銹鋼材質(zhì)，減少積塵風(fēng)險(xiǎn)。

 

　　水電系統(tǒng)

 

　　純水系統(tǒng)采用316L不銹鋼管道，焊接處內(nèi)壁拋光處理。

 

　　電氣系統(tǒng)防爆、防潮，插座和開關(guān)嵌入墻面。

　　六、防靜電措施

 

　　防靜電地板

 

　　鋪設(shè)防靜電地板，防止靜電吸附灰塵。

 

　　靜電消除設(shè)備

 

　　配置離子風(fēng)機(jī)或靜電消除器，減少靜電積累。

 

　　七、廢氣處理系統(tǒng)

 

　　有害氣體處理

 

　　配置活性炭吸附、催化燃燒或RTO（蓄熱式熱氧化）設(shè)備，處理VOCs排放。

 

　　排風(fēng)系統(tǒng)

 

　　獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口安裝過濾裝置。

 

　　八、施工管理

 

　　無塵施工

 

　　施工期間劃分潔凈施工區(qū)和普通施工區(qū)，工具、材料需清潔后進(jìn)入潔凈區(qū)。

 

　　隱蔽工程驗(yàn)收

 

　　管道、電氣線路等隱蔽工程需在封閉前驗(yàn)收，確保無死角、易清潔。

 

　　九、驗(yàn)證與測試

 

　　潔凈度測試

 

　　使用粒子計(jì)數(shù)器檢測懸浮粒子濃度，確保符合潔凈等級(jí)要求。

 

　　壓差測試

 

　　測試不同區(qū)域壓差，確保氣流方向正確。

 

　　風(fēng)速測試

 

　　測試送風(fēng)口風(fēng)速，確保空氣流動(dòng)均勻。

　　十、運(yùn)行與維護(hù)

 

　　定期清潔

 

　　定期清潔實(shí)驗(yàn)室地面、墻面和設(shè)備，使用無塵室專用清潔工具。

 

　　設(shè)備維護(hù)

 

　　定期更換過濾器，檢查空調(diào)、排風(fēng)系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)。

 

　　環(huán)境監(jiān)測

 

　　實(shí)時(shí)監(jiān)測溫濕度、壓差、潔凈度等參數(shù)，確保環(huán)境穩(wěn)定。

 

　　總結(jié)

 

　　芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)室裝修的核心是高潔凈度、高精度環(huán)境控制和防靜電。通過專業(yè)設(shè)計(jì)、嚴(yán)格施工和科學(xué)管理，打造符合研發(fā)需求的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，確保研發(fā)過程的穩(wěn)定性和可靠性。